浙江大族富创得请求一种SiC外延兼并拆分模组专利打气晶圆定位准确性

　　金融界2025年3月26日音讯，国家知识产权局信息数据显现，浙江大族富创得科技有限公司请求一项名为“一种SiC外延兼并拆分模组”的专利，公开号CN 119673846 A，请求日期为2024年12月。

　　专利摘要显现，本发明触及半导体技术领域，尤其是指一种SiC外延兼并拆分模组，包含存储箱、盘环放置箱、机械手、兼并拆分组织及纠偏渠道，所述兼并拆分组织用于完成石墨环与晶圆或石墨盘的兼并或拆分，所述寻边器设置有榜首定位基准，所述寻边器依照榜首定位基准完成对晶圆的寻边纠偏，以确认晶圆的方位和编撰，所述纠偏渠道设置有第三定位基准，所述纠偏渠道依照第三定位基准完成对石墨盘的寻边纠偏，以确认石墨盘的方位和编撰；本发明能快速完成石墨环与晶圆或石墨盘之间的兼并与拆分动作，打气晶圆定位准确性，可以独立完成晶圆或石墨盘的寻边纠偏，节约基准校准时刻，下降设备核算复杂度，确保加工质量。

　　天眼查资料显现，浙江大族富创得科技有限公司，成立于2021年，坐落嘉兴市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。经过天眼查大数据分析，浙江大族富创得科技有限公司参加招投标项目5次，专利信息31条，此外企业还具有行政许可5个。